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基于线阵CCD的全息光栅位移传感器
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2009-07-13
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提出了一种新型的基于全息光栅的CCD 位移传感器. 方法 利用CCD 分辨率高, 像素均匀等特点, 对干涉条纹的移动进行精确定位, 利用全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点, 实现位移的自动精确测量. 结果 系统能够对位移实现自动精确测量. 该系统具有一定的实用价值及应用前景.
高精度的位移测量系统是机械、仪表、工具、兵器、宇航等产业获得位置精度的基础, 也是上述产业产品及技术不断进步的制约因素. 在这些方面发展得比较成熟的主要是栅尺类位移传感器, 其中又以光栅位移传感器为主要代表. 而传统的光栅位移测量装置中多以刻画光栅为主, 并以光电探测器为接收元件来进行位移的检测, 最终得到数字化的位移信号. 而近年来随着CCD 技术的不断完善和提高, 使其作为用于干涉条纹的拾取工具成为可能, 并在很大程度上提高了定位精度. 而依据全息光栅无鬼线、适用于光谱范围宽、高分辨率及有效孔径大等优点[ 1 ] , 本文提出一种利用全息光栅代替传统刻画光栅、以线阵CCD 作为条纹拾取装置, 并通过高速动态数据采集系统最终由8031 单片峄信号数据进行自动处理的位移精密测量系统.
高精度的位移测量系统是机械、仪表、工具、兵器、宇航等产业获得位置精度的基础, 也是上述产业产品及技术不断进步的制约因素. 在这些方面发展得比较成熟的主要是栅尺类位移传感器, 其中又以光栅位移传感器为主要代表. 而传统的光栅位移测量装置中多以刻画光栅为主, 并以光电探测器为接收元件来进行位移的检测, 最终得到数字化的位移信号. 而近年来随着CCD 技术的不断完善和提高, 使其作为用于干涉条纹的拾取工具成为可能, 并在很大程度上提高了定位精度. 而依据全息光栅无鬼线、适用于光谱范围宽、高分辨率及有效孔径大等优点[ 1 ] , 本文提出一种利用全息光栅代替传统刻画光栅、以线阵CCD 作为条纹拾取装置, 并通过高速动态数据采集系统最终由8031 单片峄信号数据进行自动处理的位移精密测量系统.
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