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微型机电继电器研究进展

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:224 | 2009-11-16

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微型化是机电继电器最重要的发展方向之一，MEMS 设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS 继电器的研究进展，简要地比较、评述了它们的优势和缺点。

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