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SOI材料的发展历史、应用现状与发展新趋势

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:344 | 2009-12-14

刘高

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国际SOI 市场95%的应用集中在8 英寸和12 英寸大尺寸薄膜SOI，其中绝大多数用户为
尖端微电子技术的引导者，如IBM、AMD 等。目前供应商为法国Soitec、日本信越（SEH）、日本SUMCO，其中SOITEC 前两家供应了几乎全部的SOI 产品。其主要驱动力来自于高速、低功耗SOI 电路，特别是微处理器（CPU）应用，技术含量高，附加值大[2-4]。例如，2005-2006财务年度Soitec 公司销售的SOI 圆片，12 英寸占60%，8 英寸占28%，其他占12%。可见，SOI 的高端应用，主要是需要12 英寸的圆片。
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