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航空航天领域电子集成微系统技术发展
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2017-11-28
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电子集成微系统技术是微电子技术和系统技术发展到新历史阶段的必然结果，也是应用创新与技术创新融合发展的典范。电子集成微系统概念自上世纪九十年代出现以来，就以其强大的生命力强力推动专业整合和产业融合，被公认为21世纪的革命性技术之一，已经并将越来越显著地改变甚至颠覆人类社会生活方式。
早起的微系统是指微机电系统（MEMS）。MEMS是随着微细加工技术和超精密加工技术发展起来的，其涵义较现在的“微系统”概念相对狭窄。随着MEMS技术、微电子技术的不断发展，又开始渗透扩展，不仅系统中集成的机械元件数量和体现计算能力的晶体管数量大幅增加，而且开始集成生物、光学、软件等多种技术或元件。
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