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自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用
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2018-02-09
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真空技术广泛应用于当今的工业体系，尤其在半导体工业中不可或缺，可以毫不夸张地说，半导体工业就是建立在真空环境下的一门物理、化学相结合的工业。大连理工大学半导体集成电路实验室拥有多台集成电路加工设备，在这些半导体加工设备中，都是采用真空传感器来完成真空度的测量。这些真空传感器都是进口产品，厂家只能提供给半导体设备供应商而不能直接出售给学校，当设备过了保修期之后，大学本身是很难购买到设备上所用的传感器产品，非常不方便设备维护与维修‘-阳。所以高校实验室的工作人员，有必要开发自主知识产权的真空传感器。经过多年的开发，本文已经成功利用标准CMOS 工艺开发了皮拉尼真空传感器系统，量程可以覆盖10-～10-1 Pa，可以对腔室的真空度进行测试。自制实验设备不仅弥补了市售产品的限制，同时也培养和锻炼了高校实验技术人员队伍，充实了产学研的合作内容，是双师型教师培养的重要途径。
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