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射频电源的工作原理是什么样的？

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:0.22 MB | 2018-09-27

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　　CX系列射频电源是一款应用在半导体领域的高频功率放大器，他是一款等离子体发生器。其主要功能为半导体的等离子刻蚀，PECVD，PVD，溅射镀膜等提供高频等离子体激励.

　　射频电源内部工作原理如下：

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tyb0220 2022-10-27
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林dq 2021-05-20
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好东西学习下 收起回复
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