中图仪器SuperViewW1系列白光干涉仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差）。其扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，具有测量精度高、分析功能强大、使用方便、测量参数齐全等优点，适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
SuperViewW1系列白光干涉仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、平面度、面形轮廓、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、表面缺陷、磨损情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
在大多数的场景中，只需检测一个数十、数百微米的区域，但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中，借助中图仪器SuperView W1白光干涉仪的自动拼接功能，就能够快速实现大区域、高精度的测量。
