中图仪器SuperViewW1白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米的工件粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，是一款用于精密器件及材料表面的亚纳米级测量的检测仪器。只需要操作者装好被测工件，在软件里设好视场参数，把物镜调节到被测工件表面，选择自动聚焦后，仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像，一键输出反映工件表面质量的2D、3D参数，完成工件表面形貌一键测量。
产品参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可测样品反射率：0.05%-100%
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
白光干涉仪在数秒内，即可获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
白光干涉仪应用
场景一：超光滑的弧形表面
上图是一款旋转抛物面零件，用于微小位移和角度检测，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，针对其凹面弧形的检测需求，现有的显微测量仪器中，原子力显微镜和共聚焦显微镜，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪，能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。
针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器国产白光干涉仪厂商的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描， 重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。
场景二：粗糙的特征表面
上图是涂覆在电极棒的催化剂表面全景图，整体尺寸在7mm左右，中心的催化剂区域呈低反射率特点，而圆环外呈高反射率特点，整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。
根据客户精度要求，可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法，并可依据表面粗糙程度，选择不同步距进行速度调节。
中图仪器白光干涉仪厂商是一家高新技术企业，成立以来坚持以技术创新为发展基础，一直致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。
经过十多年在几何量测量领域的潜心研究，设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。具备了从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量，为用户提供精密测量解决方案的能力。