机床的定位精度和重复定位精度都是用激光干涉仪来检测的。中图激光干涉仪sj6000是高精度线性位移测量仪器,采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高,抗干扰能力强,空气湍流、热波动等影响甚微,因此降低了对环境条件的要求,使它不仅能用于实验室,还可在车间条件下测量大距离用。
中图激光干涉仪sj6000可以通过与不同的光学组件结合,对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm,可以满足现在所有类型数控机床精度检测,它可以弃普通车间进行应用,具有更强的环境适应能力,同时可进行动态高速测量,配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。
其线性镜组应用于机器轴的定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等;也可用于机器轴的动态测量分析。
产品参数
产品型号: SJ6800
产品名称: 中图激光干涉仪sj6000
稳频方式: 双频激光双纵模热稳频
稳频精度: 0.04ppm
测量距离:≤(0-80)m(无需远距离线性附件)
测量分辨力:1nm
测量至大速度:4m/s
线性测量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度测量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
主要特点:绝对测量、恒测力、无阿贝误差