现代化工业生产中,表面微观形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响,所以只有准确的三维形貌测量,才能更全面、更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量,所以说表面三维微观形貌的测量就越来越重要。
中图仪器研发生产的SuperView W1光学轮廓仪白光干涉仪,利用白光干涉扫描技术为基础,结合精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,从纳米到毫米范围内的样品表面微观形貌检测都可以做到。几乎在任何超精密加工行业领域中都可以进行从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等的高精度测量。
产品参数
产品性能
纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关
扫描帧速:50FPS/s
粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)
光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关
最大点数:1048576(标准)
台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ
标准配置
可选配置
SuperView W1光学轮廓仪白光干涉仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,具有测量精度高、分析功能强大、测量参数齐全、使用方便等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。应用领域广泛,适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、弯曲变形情况、磨损情况、表面缺陷、波纹度、台阶高度、孔隙间隙、面形轮廓等表面形貌特征进行测量和分析。
应用领域