SuperViewW1光学轮廓仪可以同时有探针扫描和样品台扫描两种模式。探针扫描利用电压驱动探针在大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生高分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。因为电压驱动比XY轴运动更为精确所以探针扫描产生的图像要远远好于样品台扫描得到的图像。通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。
测量原理
照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，所以根据白光干涉条纹明暗度就可以解析出被测样品的相对高度。
SuperViewW1光学轮廓仪部分构成
光学照明系统 ：采用卤素光源，其中心波长为576纳米，光谱范围从340纳米到780纳米。
光学成像系统：采用无限远光学成像系统，由显微物镜和成像目镜组成。
垂直扫描控制系统：由压电陶瓷以及控制驱动器构成，采用闭环反馈控制方法，可精密驱动显微物镜上下移动，移动范围100mm。位置移动精度为0.1纳米。
信号处理系统：信号处理系统是该仪器的核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。
应用软件：应用软件主要由操作控制部分，结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时，以三维立体，二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。
SuperViewW1光学轮廓仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量，是一款高精度的3D轮廓测量仪器。