晶圆等离子去胶机VP-RS15真空腔体不锈钢材质，腔体容积15升，功率500W，频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于45℃，不损伤样品，适用于晶圆去胶、芯片去胶、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
晶圆等离子去胶机
型号:
VP-RS15
品牌:
SUNJUNE(善准科技)