SuperViewW1白光干涉仪检测仪器既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。它以白光干涉仪为原理，结合结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描测量，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-10mm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
软件功能
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；
提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量；
提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；
提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；
提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；
提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；
提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；
提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数，参见参数表：
(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。
(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。
(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。
(6) 便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。
(7) SuperViewW1白光干涉仪检测仪器拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。
SuperViewW1白光干涉仪检测仪器分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、弯曲变形情况、磨损情况、腐蚀情况、粗糙度、孔隙间隙、表面缺陷、波纹度、台阶高度、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。能够做到在线监测、数据分析、超差报警、数据存储等，协助监测人员及时发现缺陷产生的原因。能有效监控相关设备的性能，实现表面质量判定自动化，减少了因表面缺陷而引起的损失。