晶片规格： 2-8〞wafer RPM： 500-2600r/min 基础工艺流程: 上料→DI喷淋+旋转→N2（hot）+旋转→加速旋转（温控）→下料 腔体数量： 单腔/双腔/四腔 设备类型： 半自动 Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm
清芯卓甩干机
型号:
qxzSG
苏州清芯卓半导体设备有限公司
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晶片规格： 2-8〞wafer RPM： 500-2600r/min 基础工艺流程: 上料→DI喷淋+旋转→N2（hot）+旋转→加速旋转（温控）→下料 腔体数量： 单腔/双腔/四腔 设备类型： 半自动 Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm
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