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光学系统
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光学系统（optical system）是指由透镜、反射镜、棱镜和光阑等多种光学元件按一定次序组合成的系统。通常用来成像或做光学信息处 理。曲率中心在同一直线上的两个或两个以上折射（或反射）球面组成的光学系统称为共轴球面系统，曲率中心所在的那条直线称为光轴。
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AMEYA360 行业报道：EUV光学系统唯一指定供应商——蔡司！#蔡司镜片 #euv***#euv光源样机
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