刻蚀机能替代光刻机吗

Si和Ge的湿式化学刻蚀—苏州华林科纳半导体

硝酸浓度对多孔氧化锌薄膜刻蚀工艺能的影响

尹志尧揭秘：中微是怎么从初创公司，做到全球领先的刻蚀机大厂

中微上半年净利润3.97亿元！5nm以下刻蚀机已获批量订单

中微半导体：“中国芯”的进程已经达到14nm大量生产，7nm即将进入生产的水平

微公司透露：公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线

刻蚀机国产化率迅速提升，长江存储2020年达30%

北方华创ICP刻蚀机交付突破1000腔

庆祝！北方华创ICP刻蚀机交付已突破1000腔

半导体设备国产化机遇来临，但半导体产业还是需要全球合作