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微机械陀螺
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微机械陀螺即微电子机械系统,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术,主要是利用角动量守恒原理,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
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