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微驱动器
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微驱动器是一种换能器，它可以将电、光、热等多种形式的能量转换为机械能输出。因此，它有多种不同的动作原理和结构形式。从能量转换形式分类，有电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金驱动、热驱动等多种形式。
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电磁MEMS基本原理-MEMS扫描微镜和MEMS开关
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2023-01-29
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