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EUV光刻技术 - 即将在芯片上绘制微小特征的下一代技术 – 原来是预计在2012年左右投产。但是几年过去了，EUV已经遇到了一些延迟，将技术从一个节点推向下一个阶段，本单元详细介绍了EUV光刻机，EUV光刻机技术的技术应用，EUV光刻机的技术、市场问题，国产euv光刻机发展等内容。
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台积电透露其3nm制程工艺的细节
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尽管被夹在中美之间，ASML仍积极努力
2020-10-26
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ASML的EUV光刻机已成台积电未来发展的“逆鳞”
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2020-10-19
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2020-10-12
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台积电采购的EUV设备已超35台占ASML过半产量
2020-09-29
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台积电EUV光刻机采购将超过50台；完全自主知识产权！我国三代核电技术 “国和一号”研发完成…
2020-09-29
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2020-09-28
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