基于射频开关的MEMS/NEMS状态
进行MEMS制造的沉积方法
MEMS与IC集成工艺介绍 NEMS器件在IC 中的应用
MEMS/NEMS结构基于模板的广度相位解包裹方法
采用标准的CMOS工艺和掩膜技术制造而成的NEMS传感器