MEMS传感器在汽车应用增长快速,NEMS、3.5D封装技术成趋势
哈佛大学巧妙运用“印刷电路+MEMS”工艺打造微型机器人
中国大陆关于MEMS和NEMS的发展情况
中国科学院院士在纳米机电系统研究中取得系列进展
NEMS或将引发半导体组件微型化的下一场战争