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PFM
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压电力显微镜（PFM）即是在AFM基础上发展起来利用原子力显微镜导电探针检测样品的在外加激励电压下的电致形变量的显微镜。为了有效的提取出PFM信号，通常会对探针施加某一固定频率（远低于探针共振频率）的激励信号，通过锁相放大器对PFM信号进行提取。
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