微流控芯片荧光成像系统提高其信噪比
空腔-SOI衬底制造MEMS谐振器的工艺流程
SOI工艺的广泛应用
如何借助高均匀性的 SOI 优化衬底在 MEMS 中实现多种设计创新?
SOI先进工艺发展如此迅速的原因在哪?