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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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数字式MEMS加速度传感器ADXL203的系统设计方案
2017-10-23
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集成晶体的可编程时钟性能分析
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基于超声波MEMS传感器SPM0404UD5的应用设计
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12
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2017-09-14
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2017-09-14
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