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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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MEMS陀螺仪信号处理平台系统设计方案
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2017-09-18
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1
MEMS麦克风理想解决方案
2017-09-15
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12
基于超声波MEMS传感器SPM0404UD5的应用设计
2017-09-14
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