光刻加工和等离子体加工芯片制造

射频等离子体（RF等离子体）是在气流中通过外部施加的射频场形成的。当气体中的原子被电离时（即电子在高能条件下与原子核分离时），就会产生等离子体。

2025-01-03 09:14:32

等离子体的定义等离子体是一种由离子、电子和中性粒子组成的电离气体。在这种状态下，物质的部分或全部原子被电离，即原子核与电子分离，形成了带正电的

2024-11-29 10:06:53

电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma, ICP）是一种常用的等离子体源，广泛应用于质谱分析、光谱分析、表面处理等领域。ICP

2024-09-14 17:34:26

为解决微型零件加工需求，速科德创新研发了超高精密设备KASITE-SKD系列微纳加工中心，加工余量范围20nm-100μm。设备广泛应用于航空航

资料下载 kasitesycotec 2023-02-15 15:38:01

等离子体显示板（Plasma Display Panel）简称PDP，它是一种新型显示器件

资料下载 gxrxzf 2022-08-04 11:18:03

等离子体位移快控电源设计(现代电源技术基础下载)-等离子体位移快控电源设计等离子体位移快控电源设计

资料下载佚名 2021-09-29 17:45:39

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细

资料下载佚名 2021-03-17 20:10:48

在之前的文章中，对射频大气压辉光放电已经有所介绍，那么，如果在射频放电中，将放电的间隙进一步缩小到微等离子体尺度内，即为1mm左右，乃至到了几百微米的量级，射频微等离子体又会出现哪一些新的特点呢？接下来我们与大家共同

资料下载王杰 2020-11-16 10:38:00

上，研究关键点包括：高精度加工与微纳制造：硅作为微电子和光电子领域的核心材料，其加工精度至关重要。皮秒脉冲激光

2023-12-19 10:53:11

高压放大器在等离子体实验中有多种重要应用。等离子体是一种带电粒子与电中性粒子混合的物质，其具有多种独特的物理性质，因此在许多领域具有广泛的应用，例如聚变能源、

2023-11-27 17:40:00

等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分，随着微电子技术的发展，等离子体清洗的优势越来越明显。文章介绍了等离子体清洗的特点和应用，讨论了它的清洗原

2023-10-18 17:42:36

近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是T

2023-02-27 17:54:38

近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是T

2022-05-18 15:16:16

近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是T

2022-05-17 16:41:13

1. 低温等离子体及废气处理原理低温等离子体技术是一门涉及生物学、高能物理、放电物理、放电化学反应工程学、高压脉冲技术和环境科学的综合性学科，是治理气态污染物的关键技术之一，因其高效、低能耗、处理

2022-04-21 20:29:20