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MOSFET的工作原理是什么?其组成结构是什么样的?

MOSFET是一种可以广泛使用在模拟电路与数字电路的场效晶体管。依照其“通道”的极性不同,可分为“N型”与“P型” 的两种类型。

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好的,我们来详细解释一下MOSFET的工作原理和组成结构。MOSFET全称是 金属-氧化物-半导体场效应晶体管。它是现代电子设备(如计算机CPU、手机芯片、电源管理电路等)中最核心、应用最广泛的半导体器件之一。

核心特点


一、 组成结构

一个典型的 MOSFET(以N沟道增强型为例)可以看作是由以下几个关键部分组成的“三明治”结构:

  1. 衬底: 通常称为 Body (B)Substrate。它是器件的基础半导体材料层。

    • 对于N沟道MOSFET (NMOS):衬底通常是 P型 硅(掺入受主杂质,如硼)。
    • 对于P沟道MOSFET (PMOS):衬底通常是 N型 硅(掺入施主杂质,如磷)。
    • 衬底提供一个参考电势,并且沟道是在其表面形成的。
  2. 源极和漏极:

    • 源极 (Source - S): 多数载流子(NMOS是电子,PMOS是空穴)从源极流入沟道。
    • 漏极 (Drain - D): 多数载流子从沟道流出到漏极
    • 源极和漏极是通过在衬底表面区域进行重掺杂(浓度非常高)形成的,它们的导电类型与衬底相反。
      • NMOS 中,源/漏极是重掺杂的 N⁺ 区域
      • PMOS 中,源/漏极是重掺杂的 P⁺ 区域
  3. 沟道:

    • 位于源极和漏极之间、衬底表面的狭窄区域。
    • 在未施加栅压的情况下,源极和漏极之间被两个背靠背的PN结隔离(对于NMOS:N⁺源-P衬底-P衬底-N⁺漏),天然是绝缘/阻断的。
    • 在合适的栅压作用下,沟道区域的性质会发生改变,形成一条允许电流流动的导电通道。这个通道的导电类型也与衬底相反(NMOS中形成N型沟道,PMOS中形成P型沟道)。
  4. 栅极结构:

    • 栅氧化层: 一层非常薄(通常在几十埃至几百埃)的优质绝缘体薄膜(绝缘层),覆盖在源漏之间的沟道区表面。最常用的是二氧化硅 (SiO₂)
    • 栅电极: 位于栅氧化层之上的导电电极(金属层),称为栅极 (Gate - G)。现代工艺中通常使用重掺杂的多晶硅(Poly-Si)或金属硅化物(如TiSi₂, CoSi₂),或者金属(如铜或铝)来降低电阻。这是施加控制电压的地方。
    • 整个结构: 栅电极 + 栅氧化层 + 半导体沟道区 共同构成了一个金属-氧化物-半导体 (MOS) 电容,这是控制器件开关的关键。

简单结构图示 (NMOS 增强型):

                   ┌───────────────────┐
                   │      栅电极 (G)    │ ←───── 金属或多晶硅
                   └─────────┬─────────┘
                             │
                             │ 栅氧化层 (SiO₂)    ←───── 绝缘体
        ┌───────────┬───────┴───────┬───────────┐
        │           │               │           │
    N⁺ 源极 (S)     │   P型 衬底 (B) │       N⁺ 漏极 (D)  ←─ 重掺杂区域
        │           │               │           │
        └───────────┴───────────────┴───────────┘
                           ↓
                       沟道区域 (初始不存在)

二、 工作原理 (以 N沟道增强型 MOSFET 为例)

关键点:栅极电压控制源漏之间导电沟道的形成与消失,进而控制电流流动。

  1. 截止状态:

    • 栅极电压 VGS 低于阈值电压 VTH(一个正数,如0.5V, 1V等)时:
    • 没有足够强的电场将电子吸引到栅下的沟道区表面。
    • 此时,P型衬底的表面仍然是P型(空穴是多数载流子)。
    • 源极(N⁺)和漏极(N⁺)被P型衬底隔开,形成了两个背靠背的PN结。它们相当于反向偏置的二极管,没有导电沟道形成。
    • 所以,源极 (S) 和漏极 (D) 之间相当于开路(高阻态),几乎没有电流 (IDS ≈ 0) 流过。
  2. 开启状态:

    • 栅极电压 VGS > 阈值电压 VTH 时:
    • 栅极上的正电压排斥P型衬底表面附近的空穴(带正电)。
    • 同时吸引电子(带负电)到衬底表面。这些电子来源于衬底中的少数载流子和源/漏极(N⁺区有大量电子)。
    • 在栅氧化层下方的P型硅表面,堆积的电子浓度超过了原始的P型空穴浓度,反型成了 N型层(沟道区由P型反型成N型)。
    • 这个在P型衬底表面形成的薄薄N型导电层,将源极 (N⁺)漏极 (N⁺) 连接起来,形成了一条导电沟道(N沟道)。
    • 如果在漏极 (D)源极 (S) 之间施加一个电压差 VDS > 0,电子就可以沿着这条源极 → N沟道 → 漏极的路径流动,形成从漏极流向源极的电流 IDS(注意:电子流动方向与电流定义方向相反)。
    • VGS 越高,吸引到表面的电子越多,沟道导电能力越强(沟道电阻越小),在同样的 VDS 下,电流 IDS越大
    • 沟道形成的根本原因是栅压产生的垂直电场引起硅表面能带弯曲和载流子分布改变,达到强反型条件。
  3. 工作区的细化:

    • 线性区 (欧姆区 / 三极管区): 当 VDS 很小(如 VDS < (VGS - VTH))时,沟道从源到漏很均匀。IDS 几乎随 VDS 线性增加(表现像一个压控电阻)。
    • 饱和区 (恒流区 / 有源区): 当 VDS 增加到一定程度(接近并超过 VGS - VTH)后,在漏端附近,栅与漏之间的有效电压减小(VGD = VGS - VDS < VTH),导致漏端处的沟道被“夹断”(反型层消失)。电流 IDS 基本不再随 VDS 增加,而主要受 VGS 控制(像一个压控电流源)。

总结

  1. 结构核心: 金属(栅电极)-氧化物(绝缘层)-半导体(沟道区)三明治结构 + 两侧的重掺杂源/漏区 + 衬底。
  2. 工作原理核心(增强型):
    • 栅压决定沟道有无: VGS < VTH:无沟道,断开 (IDS ≈ 0)。
    • 栅压控制沟道强弱: VGS > VTH:形成沟道(NMOS反型出N沟道,PMOS反型出P沟道)。VGS 越大,沟道导电性越强。
    • 漏压影响电流工作状态: 低压差时是压控电阻(线性区),高压差时是压控电流源(饱和区)。

这就是MOSFET作为固态开关和放大器的基础物理原理。理解其结构和电场对沟道形成的控制是掌握MOSFET电路应用的关键。P沟道MOSFET的工作原理相似,只是电压极性和载流子类型(空穴)相反。

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