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硅晶片的清洗技术

消耗积分:3 | 格式:jpg | 大小:0.47 MB | 2022-05-11

木南hlkn

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本文阐述了金属杂质和颗粒杂质在硅片表面的粘附机理，并提出了一些清洗方法。
 
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