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台阶仪工业测量仪器：揭秘多领域应用
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2023-11-03
台阶仪是一种常见的工业测量仪器，广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。
工作原理
当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
CP200台阶仪采用线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃，具有良好的测量精度及重复性。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等，没有特别的要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。
典型应用
1、半导体应用
(1)沉积薄膜的台阶高度
(2)抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度
(3)蚀刻速率测定
(4)化学机械抛光（腐蚀、凹陷、弯曲)
2、大型基板应用
(1)印刷电路板（突起、台阶高度）
(2)窗口涂层
(3)晶片掩模
(4)晶片卡盘涂料
(5)抛光板
3、玻璃基板及显示器应用
(1)AMOLED
(2)液晶屏研发的台阶步级高度测量
(3)触控面板薄膜厚度测量
(4)太阳能涂层薄膜测量
4、柔性电子器件薄膜应用
(1)有机光电探测器
(2)印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
(3)触摸屏铜迹线
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