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超精密光学3D测量仪器的价值和意义
罗健
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超精密光学3D测量仪器具有高精度、自动化程度高、实时反馈和范围广等优势。它能够实现微米级别的精确测量，能够精确测量产品的尺寸、形状和表面粗糙度等，具有广泛的应用价值和重要意义。
中图仪器超精密3D光学测量仪器结合镜头防撞保护技术、精密双重隔振技术以及环境噪声评价技术，具有高精度、自动化程度高、实时反馈和范围广等优势，可以实现自动化测量和高效调整，可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量，提高加工的准确性和效率的同时检测加工过程中的质量控制，确保零部件质量达标。在微纳米结构检测中有着重要意义。
1、SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪超越0.1nm的纵向分辨能力，让显微形貌分毫毕现；优于0.1%的台阶测量重复性，让测量数据万千如一。可测反射率：覆盖近0%~100%的表面反射率。
2、VT6000系列共聚焦显微镜尖锐倾角形貌测量能力，让复杂结构清晰明了；二维影像尺寸测量，平面轮廓尺寸自动计算。
高端制造业中，中图仪器通用性超精密3D光学测量仪器能做什么？
1、半导体-镭射槽
2、超精密加工-微透镜阵列
3、光学加工-超光滑球面
4、摩擦学-金属腐蚀摩擦
5、抛光研磨-超光滑表面
6、汽配行业-零部件端面
7、显示行业-光学膜片
8、光伏行业-太阳能电池片
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