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压电陶瓷微位移器驱动电源减小波纹的方法

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:0.34 MB | 2017-12-17

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　　压电陶瓷做位移器是近年来发展起来的新型微位移器件，它具有体积小、推力大、精度受位移分辨率高和频响高等优点，并且不发热，不产生噪声，是理想的微位侈器，已在航空航天、触电子工业部门、精密测量、生物工程、机器人以及微细加工等领域获得了应用，它的出现，开创了精度进入纳米级的新时代，然而，任何压电陶瓷微位移器的使用，都离不开驱动控制电源，驱动电源对压电陶瓷和机构的微位移性能影响很大．特别是机构的动态使用特性，可以说完全取决于驱动电源的动态性能。因此，压电陶瓷驱动电源技术已成为目前压电陶瓷做位移器应用用中的关键技术。

压电陶瓷微位移器驱动电源减小波纹的方法

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