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半导体PLC设计SECS/GEM方案
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2023-04-18
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SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)【半导体设备材料国际联盟】制定了半导体设备通讯标准接口SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard【半导体设备标准】). 让CIM与设备间有通用的通讯标准接口，设备制造商只要提供符合通讯标准规范的设备，便可快速地整合在CIM的管理系统
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