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利用MEMS技术制作无线通信用RF元件

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-14

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本文介绍了高频无线通信不可或缺的关键性元件，FBAR 滤波器（filter）、RF-MEMS 开关（switch），以及MEMS 可变电容器的制作技术。
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