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一种静电驱动可调电容器的设计

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-16

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本文主要是介绍一种新的可调电容器的设计。这种可调电容器采用静电驱动金属膜
的原理工作，与一般的只有单极板可动的可调电容器相比，这种结构的不同之处在于采用一些复杂的制作工艺，制作出电容两块极板均可动的可调电容器。这种结构包括两层可动金属板，下层金属板上覆盖一层薄的绝缘层，防止两层金属膜发生接触粘连。上下两层可动板之间留有一定厚度的空气隙，金属板在这个区域内可以活动。
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