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微机械惯性传感器检测平台的设计与应用

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-16

孙成红

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一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信
号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。
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