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微电子机械系统相关知识详述及其应用介绍
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2017-11-18
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微电子机械系统 （Micro Electron-Mechxniaal System-MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的-i3新兴技术。它涉及到微电子学、光学、声学、磁管、气动力学、流体力学与自动控制等多个学科。MEMS是涌过半导体微细加工技术及微机械加工技术在硅等半导体基板上制作的一种微型电子机械装置。微机械可以分为几个等级：特征尺寸在Imm一1。二 的为小型机械，Ipm一Imtn的为微型机构，1。一1lxm的为纳米机械。当前，MEMS正向多功能化方向发展，即集微型机械、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路、接口、电源和通信等单元于一体，成为一个完整的机械电子系统。
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