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用于图像传感器制造的光刻技术

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:344 | 2009-12-15

万物死

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任何一种数字成像的核心都是图像传感器。它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵。数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长，它们已成为主要 IC 制造商大量生产的产品之一。制造成像阵列通常采用两种主要的工艺技术——电荷耦合器件（CCD）和 CMOS 图像传感器（CIS）。在形成工艺层次组合和电学设计方面，这两种技术有很大差别。但是，两者都需要优化，以俘获到达的光线，并将其更有效地转化为电信号。
CCD 器件在象素区把光子转换为电荷。CIS 器件则可以看作为改进的存储器单元，每一单元包含一个可以产生电压的光电晶体管。
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