压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量,例如力、压力、加速度等。
压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速,特别是电子技术的迅速发展,使压电式传感器的应用越来越广泛。
某些晶体,在一定方向受到外力作用时,内部将产生极化现象,相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷;当外力作用除去时,又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时,电荷的极性也随着改变,这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多,如石英晶体、压电陶瓷、压电半导体等。
石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶,属于六角晶系。图6.1.1是天然石英晶体的外形图,它为规则的六角棱柱体。石英晶体有三个晶轴:Z轴又称光轴,它与晶体的纵轴线方向一致;X轴又称电轴,它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴;y轴又称机械轴,它垂直于两个相对的晶柱棱面。
图6.1.1 石英晶体的外形、坐标轴及切片
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