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超精密机械加工技术在微光学元件制造中的应用

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:224 | 2009-12-15

李伟

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超精密机械加工技术作为微光学元件的一种制造方法，具有很多其他传统方法所不具有的优点。本文回顾了超精密机械加工技术的发展，展望了其在微光学元件加工中的应用潜力。
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