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微波电源控制器的研制
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2018-01-18
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微波等离子体技术具有极其广阔的应用领域，如等离子体增强化学气相沉积、等离子体表面处理以及等离子体刻蚀等。微波电源作为微波等离子体设备的核心，是激发与维持微波等离子体的动力。它的输出功率直接决定了等离子体的各项参数，影响到工艺效果。所以，为了取得良好的工艺效果与稳定性，需要设计控制器保证微波电源稳定可靠的工作。鉴于此，本文基于嵌入式技术，以C805IF500为控制核心，引入数字化与光信号化的测控电路设计微波电源控制器陆-，该控制器包括供电电源部分与测控部分，通过优化的硬件电路，辅以合适的抗干扰措施，保证了微波电源在控制器作用下可靠工作。
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