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微机电系统特点及加工技术
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2018-01-24
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MEMS是指微型化的器件或器件的组合，把电子功能与机械的、光学的或其他的功能相结合的综合集成系统，采用微型结构，使之在极小的空间内达到智能化的功效。MEMS是一门多学科交叉的新兴学科，涉及精密机械、微电子材料科学、微细加工、系统与控制等技术学科和物理、化学、力学、生物学等基础学科。它将在21世纪的信息、通信、航空航天、生物医疗等多方面获得重大突破，从而对世界科技、经济发展和国防建设带来深远响，德国Weissler把MEMS称为系统工业发展所需要的‘维生素”。MEMS具有以下几个非约束性的特征：
（l） 尺寸在毫米到微米范围内，区别于传统的宏观机械：
（2） 以硅微加工技术为主要的制造技术：
（3） 在无尘室大批量、低成本生产，使性价比比传统“机械”制造技术大幅度地提高；
（4） MEMS中的机械不限于力学中的机械，它代表一切具有能量转化、传输等功能的效应，包括力、热、光、磁、化学、生物等效应：
（5） MEMS的目标是“微机械”与IC（ Integrated circle）结合的微系统，并向智能化方向发展。
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