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一种新型P阱NMOS功率集成电路制作技术

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:95 | 2010-05-08

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摘要:提出一种新型的P阱NMOS功率集成电路制作技术。理论分析表明,该技术可以比较地实现VDMOS FET与P阱NMOS电路的兼容集成。实验结果表明,利用该技术获得的器件结构具有良好的击穿特性。
关键词:集成电路 功率集成电路 VDMOS FET

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