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CMOS集成电路制造工艺的详细资料说明

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:1.37 MB | 2019-07-02

  从电路设计到芯片完成离不开集成电路的制备工艺,本章主要介绍硅衬底上的CMOS集成电路制造的工艺过程。有些CMOS集成电路涉及到高压MOS器件(例如平板显示驱动芯片、智能功率CMOS集成电路等),因此高低压电路的兼容性就显得十分重要,在本章最后将重点说明高低压兼容的CMOS工艺流程。

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