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MEMS惯性传感器简介
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2010-07-08
王磊
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MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。微型机电系统可以在诸如硅、石英等不同的基体材料之上加工而成，以硅为基体材料的微机电系统称之为硅微机电系统，而以硅为基体材料实现的惯性传感器件即为硅微惯性传感器。
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