硅是典型的具有半导体性质的元素,是很重要的半导体材料。据统计, 目前半导体器件的95%以上用硅材料制作,集成电路99%以上是用硅材料制作。
这个比例还在增大。尤其大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)、 甚大规模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片或外延片上。
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