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光刻光束线快门实验系统及其快速光电转换
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2010-12-13
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本文阐述了光刻光束线中的快门光栅系统的基本结构和工作原理． 井介绍了光电转换中的一种新方怯—高阻甚，该方法在快速弱光信号的检测中具有实际意义。
光刻光束线的基本原理，是从加速器贮存环中的一个窗口引出同步幅射光子流， 取其软X射线部分作为大豌集成电路的光刻光源， 这就要求；
2．1．具备快门控期系统， 用于控捌爆光时间。
2．2．具备镜扫描功能， 以便将光柬线作均匀展宽， 取而实现较大面积的均匀光刻。
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