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平面光学元件的加工技术
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2010-12-28
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光学平面零件包括棱镜、平行平面板、平面反光镜、平晶、光楔、光盘片基、滤光片、
波片、倍频器、液晶光屏平面等等。其大小从φ1mm 到φ1000mm 或更大,材料主要是光学玻
璃,有时是光学晶体,为了达到高精度与高效率,采用技术方法很多,有铣磨、精磨、研磨、抛
光、分离器抛光、环抛、水中抛光（BFP）、单点金刚石飞切(SPDFC)、计算机机控制小工具
抛修(CCP) 、离子抛光等等。
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