日本speedfam28B双面抛光机 平面研磨机 减薄机

型号: speedfam28B-5P

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东莞市准纳光电科技有限公司

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  • 本机主要用于硅片、砷化钾片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面研磨。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。

 

一. 概述

1.1本机采用龙门式结构,外型美观大方,提高了整机刚度。

1.2整机的运行采用单电机拖动,通过减速机后由四组不同速比的齿轮给上研磨盘、下研磨盘、齿圈、中心轮提供不同的速度,使四种速度达到最佳的配比,满足工艺的要求,其中中心轮相对与其它三个转速的速比可调(两级),使游轮自转可实现正转、反转,满足了不同研磨(修盘)工艺的需求。

1.3本机为下研磨盘升降方式、下研磨盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁,以满足改变游轮啮合高低位置的需要;

1.4本机继承其它研磨机压力控制的成功经验:采用四段压力,即轻压、中压、重压、修研(轻压)的运行过程; 

1.5本机采用PLC、四行文本显示器,变频调速,电机速度由外设电位器手动随时调节;速度由预设的四段速度因运行时间而自动改变,四段速度的运行时间与四段压力时间相对应。设备留有工件测厚装置接口;

1.6接液盆、护圈的设计采用半露式结构,保证了设备工作时不会漏砂,并且便于用户对设备进行清理;

1.7研磨速度的匹配,符合国际上通用的研磨机理,此速度匹配已被普遍认可。

 三.主要技术参数

1. 研磨盘尺寸(mm):  φ1800× φ780 ×50

2. 游轮参数:         英制:齿数Z=350  DP=12 α=20°

                      公制:齿数Z=182 m=3   α=20°

3. 游轮数量:         5片

4. 修正轮数量:       4片

5. 最小研磨厚度:     0.50mm/φ680,0.40mm/φ680,

0.35mm/φ75

6. 最大研磨厚度:   50mm

7. 研磨直径及片数     φ680/5片 

8. 最大研磨直径:     φ680 mm

9. 下研磨盘转速:       0~90rpm

10. 主电机:          11Kw    220V   3460rpm

11. 三相电泵          AB-100   250W  100L/min

四.精度指标

1. 下研盘端面跳动0.08.

2. 上、下研磨盘平面度0.030.(只检查下盘)。

3. 太阳轮径向跳动:0.12.

4. 齿圈径向跳动;0.20.

5. 上、下研磨盘回转中心不重合度≤0.5mm.

四个修正轮精度状况:

6. 厚度一致性:0.008

7. 上下面平面度:0.005

8. 上下面平行度:0.006

9.    整机噪音:    ≤75dB(A)