RTA适用于测试微机电系统加速度计和陀螺仪的多轴定位器系列。它们允许同时对多达 140 个器件进行多站点测试，同时提供精确可靠的角位置、速率和加速度运动。加速度计使用恒定速度，陀螺仪测试则采用正弦角速率输入。轴由扭矩电机驱动，可确保提高位置和速度精度。
- 高多站点MEMS接触单元：并行测试高大140个器件
- 陀螺仪测试：素等（梯形剖面，可编程的速度、正弦和合并正弦剖面（可编程的幅度和频率）
- 加速度计测试：定位模式
- 速率精度高，无漂移，速率稳定性出色，扭转刚度高
- 通过DLL指示可编程运动剖面
- 增量式光电编码器的伺服电机运动控制系统，为增强位置和速度精度
- 操作过程中连续连接
- HF 选配件带有预留的接线，用于不超过 25MHz的高频信号（RTA 5x6 型号）)
产品规格
