STU 200 高 G 测试装置专门用于高加速度 MEMS 惯性传感器的最佳性能生产测试。该装置集成有装贴操作机和测试系统,提供高效率的交钥匙解决方案,可以降低测试成本,同时满足不断变化的测试需求。
本装置集成了器件电气和功能测试所需的各种元件,包括为了检验传感器是否正常工作而需要的设备。
MEMS 器件可以同时在 XYZ 三个方向上刺激,节约了测试周期数,有助于减小测试时间(尤其是需要在相应温度下提供多个测试通道时)和器件损坏风险。
本装置具有一流的性能,受到 28g/90 Hz 刺激时的谐波失真小于 1.5%。