半导体“MEMS（微机电系统）芯片”的详解；

金属铬在微机电系统中的应用

芯动联科派发6200万元现金红包，A股唯一高性能MEMS惯性传感器公司上半年暴涨210%

激光锡球焊锡机为MEMS微机电产品焊接带来新突破

导远科技助力比亚迪“天神之眼”智驾系统

安泰超声功率放大器在MEMS微机电系统中的应用

IEEE MEMS 2025 中国大陆地区论文录用情况：北京大学/中科院微系统所/上海交大排名前三

MEMS产业火热！未来怎么发展？四位院士解读

Bosch Sensortec 博世 传感器选型应用

东南大学利用Moku:Pro跟踪MEMS应用谐振频率并稳定输出信号幅值

凯米斯科技发明专利家族再添一员

ATA-3040C功率放大器在MEMS传感器超声波喷涂中的具体应用

聚焦MEMS！这个重点实验室揭牌

基于微机电系统的智能手表

基于Sb/ZnO纳米结构的气体传感器实现臭氧检测

苏州敏芯获MEMS麦克风结构专利

敏芯股份推出一款医用过程控制气体质量流量传感器模组MF1250

晶圆键合设备：半导体产业链的新“风口”

玻璃气密封装技术：MEMS器件的理想解决方案之一

深迪半导体新增比亚迪等股东，注册资本增至1825.8303万美元